LAUDA Semistat 等離子刻蝕溫度控制系統(tǒng)S 2400
LAUDA Semistat 等離子刻蝕溫度控制系統(tǒng)，通過(guò)對(duì)靜電卡盤 (ESC，E-chuck) 的動(dòng)態(tài)溫度控制，為等離子刻蝕應(yīng)用提供穩(wěn)定的溫度控制。LAUDA Semistat基于 Peltier 元件傳熱理論設(shè)計(jì)，與傳統(tǒng)壓縮機(jī)系統(tǒng)相比，可以節(jié)省高達(dá)90%的能耗。體積小，占地空間少，可選擇安裝在地板下的夾層中，節(jié)省潔凈室空間。LAUDA Semistat 可以快速和精準(zhǔn)地將過(guò)程溫度控制在 ±0.1 K，從而提高晶圓間均質(zhì)性。 產(chǎn)品特點(diǎn)： 無(wú)壓縮機(jī)和制冷劑的低能耗系統(tǒng)，運(yùn)行安靜、振動(dòng)小 帶清潔干燥空氣 (CDA) 吹掃接口，可防止冷凝水產(chǎn)生 結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，占地面積小，非常適合…
